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다결정 CdTe 박막의 열처리에 따른 물성 변화에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS
Effects of Heat Treatments on the Physical Properties of Polycrystalline CdTe Thin Film
김현수, 염근영, 신성호, 박정일, 박광자
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294879
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제5권 제4호 (1995.06)
pp.389-396
pp.389-396
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
본 논문에서는 전자빔증착법에 의해 제조된 다결정 CdTe 박막의 구조적, 광학적 특성을 연구하였으며 특히 기판온도와 증착후 열처리에 따른 박막의 결정성변화를 관찰하고 그 결과를 고찰하였다. ITO와 유리위에 25~160˚C의 기판온도로 증착된 CdTe 박막의 결정구조는 zinc blende 구조를 보이고<111> 방향으로의 우선 성장방향을 나타내었다. 증착후 열처리를 함에 따라 결정립이 성장하고 정량적 CdTe로 접근하고 상온에서 band gap 이 단결정의 값인 1.5eV에 가까운 에너지로 천이하며 결정성이 향상됨을 관찰할 수 있었다. 이러한 열처리에 의한 결정성 향상은 PL과 XRD를 통하여 분석한 결과 재료내 존재하는 과잉 Te가 열처리시 증발함에 따라 격자내 응력이 감소함과 관련이 있음을 알 수 있었다.
저자
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