RF PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 조성, 구조 및 전기적 특성 - koreascholar

논문 상세보기

RF PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 조성, 구조 및 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Composition, Structure and Resistivity of TiN Thin, Films Deposited by RF PECVD

전병혁, 김종석, 이원종

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294899

구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원

한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제5권 제5호 (1995.08)
pp.552-559

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

전병혁 | Jeon, Byeong-Hyeok
김종석 | 김종석
이원종 | 이원종

같은 권호 다른 논문