SiNx유전 보호막이 이동통신용 고주파 SAW필터의 특성에 미치는 영향

이용의; 이재빈; 김형준; 김영진; 양형국; 박종철

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SiNx유전 보호막이 이동통신용 고주파 SAW필터의 특성에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

The Effects of SiNx Dielectric Thin Films on SAW Properties of the High Frequency SAW Filter for Cellular Communication System

이용의, 이재빈, 김형준, 김영진, 양형국, 박종철

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제5권 제6호 (1995.09)
pp.650-656

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

이동통신용 고주파 표면탄성파(SAW) 필터를 36˚Y-X LiTaO3압전기판과 IIDT 전극구조를 이용하여 제작하였다. 제작한 SAW 필터의 중심주파수는 주파수 응답 특성 측정 결과 설계한 중심주파수보다 낮아짐이 관찰되었다. 이러한 단점을 보완하고 미세한 주파수의 조절을 가능하게 하기 위해 SiNx 유전박막을 보호막으로 증착하여 이에 따른 주파수 특성 변화를 관찰하였다. SAW파장에 대한 SiNx 유전 박막의 두께비를 증가시킬수록 SAW 진행 속도가 증가하여, 제조한 필터의 중심주파수를 높게 이동시킬 수 있었다. 그러나 유전박막의 두께가 증가할수록 필터의 삽입손실이 증가하는 문제점이 존재하였다.

저자

이용의 | Lee, Yong-Ui
이재빈 | 이재빈
김형준 | 김형준
김영진 | 김영진
양형국 | 양형국
박종철 | 박종철

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