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Cu(II) Hexafluoroacetylacetonate 프리커서에 의한 구리 화학증착의 열역학적 평형조성 해석 KCI 등재 SCOPUS
Thermodynamic Equilibrium Analysis of Copper Chemical Vapor Deposition from Cu(II) Hexafluoroacetylacetonate Precursor
전치훈, 김윤태, 백종태, 유형준, 박동원, 최병진, 김대룡
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294913
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제5권 제6호 (1995.09)
pp.657-666
pp.657-666
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
Cu(hfac)2,(Cu(II) hexafluoroacetylacetonate)를 프리커서로 하는 구리 화학증착에 대해 자유에너지 최소화법으로 열역학적 평형조성 계산을 수행하였다. Cu(hfac)2-Ar계의 경우Cu(hfac)2 프리커서 자체의 열분해로부터 모든 공정조건에서 증착박막내로의 탄소 출입이 관찰되었다. Cu(hfac)2-H2,계에서는 Cu(hfac)2-Ar계보다 낮은 온도에서 구리박막이 증착되며, H2입력비 및 반응온도의 증가에 따라 응축상의 석출형태는 C(s)+CuF(s)로부터 C(s)+CuF(s)+Cu(s), C(s)+Cu(s), Cu(s), C(s)의 순으로 변화되는 것으로 나타났다.
저자
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