논문 상세보기

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 SrTiO3박막제조와 유전특성 KCI 등재 SCOPUS

Preparation of SrTiO3 Thin Film by RF Magnetron Sputtering and Its Dielectric Properties

김병구, 손봉균, 최승철
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294924
구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원
한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제5권 제6호 (1995.09)
pp.754-762
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 김병구 | Kim, Byeong-Gu
  • 손봉균 | 손봉균
  • 최승철 | 최승철
인용하기
양식 선택
언어 선택
로그인