Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 합성과 유전 특성

장수익; 최병철; 장현명

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Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 합성과 유전 특성 KCI 등재 SCOPUS

Fabrication of BaxSr1-xTiO3(BST) Thin Films by Sol-Gel Method and their Dielectric Properties

장수익, 최병철, 장현명

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295017

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제6권 제5호 (1996.05)
pp.449-456

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

BaO, SrCI2.6H2O 그리고 Ti(OPri)4를 출발 원료로 사용하여 균일한 BaxSr1-xTiO3(BST) 솔을 합성하였고, BST 박막을 회전 코팅 법으로 Si 및 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 제조하였다. 적외선 및 NMR 스펙트럼 분석으로 킬레이션 조제로 사용한 acetylacetone(AcAc)이 엔올 형태로 Ti-알콕사이드와 결합하여 솔 안정화에 기여함을 확인하였다. Xedrogel에 대한 DT/TGA 및 적외선 스펙트럼 결과로부터 페로브스카이트 상생성이 600˚C 이상에서 이루어짐을 관찰하였다. 700˚C에서 열처리한 박마은 -300(10 KHz)의 상대유전율을 나타내었고, 결정립의 저항 및 입계의 병렬 RC 성분으로 등가회로를 구성할 수 있었다.

저자

장수익 | Jang, Su-Ik
최병철 | 최병철
장현명 | 장현명

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