Co 단일층과 Co/Ti 이중층에 의하여 형성된 코발트 실리사이드막의 구조

이종무; 이병욱; 권영재; 김영욱; 이수천

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Co 단일층과 Co/Ti 이중층에 의하여 형성된 코발트 실리사이드막의 구조 KCI 등재 SCOPUS

Investigation of Thin Film Structures of Cobalt Silicides Formed with a Co Monolayer and a Co/Ti Bilayer

이종무, 이병욱, 권영재, 김영욱, 이수천

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제6권 제9호 (1996.09)
pp.861-870

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

Co 단일층과 Co/Ti 이중층으로부터 형성된 코발트 실리사이드를 최종 막의 구조와 에피텍셜 성장 측면에서 조사하였다. Co 단일층은 그 두께와는 관계없이 전체 막이 CoSi2로 변화된 반면에, Co/Ti 이중층 구조에서는 Co와 Ti 막의 두께비가 최종막 구조에 상당한 영향을 주었다. 그리고 CoSi2막의 에피 성장이 Co 단일층에서 보다는 Co/Ti 이중층에서 보다 용이하였다.

저자

이종무 | Lee, Jong-Mu
이병욱 | 이병욱
권영재 | 권영재
김영욱 | 김영욱
이수천 | 이수천

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