Ni과 Pd을 이용한 비정질 실리콘의 저온 측면 결정화에 관한 연구

이병일; 김광호; 정원철; 신진욱; 안평수; 주승기

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Ni과 Pd을 이용한 비정질 실리콘의 저온 측면 결정화에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

Low Temperature lateral Crystallization of Amorphous Silicon Films Induced by Ni and Pd.

이병일, 김광호, 정원철, 신진욱, 안평수, 주승기

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295071

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제6권 제9호 (1996.09)
pp.900-904

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

비정질 실리콘의 표면에 Ni과 Pd를 형성하여 측면으로의 결정화 속도를 향상시켰다. Ni에 의해 비정질 실리콘이 측면으로 결정화될 때 그 성장 속도는 500˚C에서 3wμm/hour였으며 이때의 활성화 에너지는 2.87eV로 나타났다. Pd의 경우는 Pd2Si의 형성에 의해 압축 응력이 유발되어 Pdrks의 간격이 좁을수록 측면으로의 결정화 속도가 증가하였다. Ni과 Pd을 각각 다른 부분에 증착시키고 결정화시키면 Ni에 의해 측면으로 결정화되는 속도가 Ni만으로 결정화시킬 때 보다 약 2배 이상의 측면결정화 속도를 보였다.

저자

이병일 | Lee, Byeong-Il
김광호 | 김광호
정원철 | 정원철
신진욱 | 신진욱
안평수 | 안평수
주승기 | 주승기

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