전기화학법 중 음극환원법을 이용하여 0.005M TiCI4수용액으로부터 수화물 형태의 TiO2박막을 제조하였다. TiCI4수용액에 첨가제로 에탄올을 50vol% 첨가하여 균일한 박막을 얻을 수가 있었으며, 전류밀도와 시간에 따라서 박막의 두께와 미세구조가 변화하였다. 성장속도가 큰 조건에서 얻은 박막은 균질성의 감소로 인하여 건조과정이나 열처리 중 다량의 균열이 발생하였다. 일정한 전류밀도ㅇ에서 반응시간의 증가에 따라 박막의 두께가 직선적으로 증가하였으며, 10mA/cm2의 전류밀도에서 3분 동안 반응시켜 약 0.7μm 두께의 우수한 TiO2박막을 얻을수 있었다. 이러한 박막은 800˚C에서 한 시간 열처리 한 결과, rutile 단일상으로 결정화되었다.

• 공필구 | Gong, Pil-Gu
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