희토류-천이금속계 아몰퍼스 자성박막의 결정화 거동

김찬욱; 김상원

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희토류-천이금속계 아몰퍼스 자성박막의 결정화 거동 KCI 등재 SCOPUS

Crystallization Behavior of Rare Earth-Transition Metal Amorphous Thin Films

김찬욱, 김상원

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295090

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제6권 제10호 (1996.10)
pp.1049-1056

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

본 연구는 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 1μm 두께의 Fe79Tb21 및 Fe62Co15Tb23 아몰퍼스합금 박막을 결정화함으로써 석출되는 결정상의 구조와 아몰퍼스합금의 구조와의 대응관계에 관한 기초정보를 도출하기 위하여 자화측정, DSC열분석 및 X선 회절측정 등을 행하였다. 소둔온도가 400˚C이상 증가하면 Fe79Tb21 및 Fe62Co15Tb23 아몰퍼스합금 박막의 용이자화방향이 시료면의 수직방향에서 면내방향으로 이행하였으며 열분석 측정결과, Fe79Tb21 박막의 결정화온도는 500-600˚C범위인 반면 Fe62Co15Tb23박막의 경우는 650˚C로 평가되었다. 또한, 이들 박막에 대한 열처리후의 X선 회절프로화일로부터 양시료 공히 Fe23Tb6 금속간 화합물 이외의 어떠한 금속간화합물도 석출되지 않음을 알 수 있었다.

저자

김찬욱 | Kim, Chan-Uk
김상원 | 김상원

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