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RF PECVD로 증착된 다이아몬드상 탄소막의 보조가스 첨가의 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Addition Gases(Hydrogen and Nitrogen Gas) of Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD)

최운, 김형준, 남승의
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295119
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제7권 제1호 (1997.01)
pp.8-14
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 최운 | Choe, Un
  • 김형준 | 김형준
  • 남승의 | 남승의
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