PEMOCVD에 의한 강 유전체 SrBi2Ta2O9박막의 제조 및 증착온도 특성

성낙진; 윤순길

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PEMOCVD에 의한 강 유전체 SrBi2Ta2O9박막의 제조 및 증착온도 특성 KCI 등재 SCOPUS

Preparation and Characteristics of Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition Technique with Various Deposition Temperatures

성낙진, 윤순길

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295169

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제7권 제5호 (1997.05)
pp.381-385

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

성낙진 | Seong, Nak-Jin
윤순길 | 윤순길

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