졸-겔 dip coating법에 의해 제조한 바륨페라이트 박막의 미세구조와 결정학적인 구조 특성에 관해 조사하였다. 기판에 형성된 바륨페라이트 입자는 침상 형태의 입자들로 구성되어 있었으며, C축은 장축 방향이었고, 막 두께가 증가함에 따라 침상형 입자들은 기판에 평행하게 배향하는 경향을 나타내었다. 박막은 바륨페라이트층, Ba, Fe, SiO2로 구성되어 있는 중간층, 그리고 기판층인 SiO2층으로 구성되어 있었으며, 중간층과 SiO2층간의 계면은 Ba 와 SiO2간의 화합물로 구성되어 있었다. 침상 형태의 입자는 950˚C에서 3시간 열처리하므로써 완전히 소실하였고, 1300˚C에서 3시간 열처리하므로써 c면이 기판에 평행하게 위치하는 완전한 육각판상 형태의 입자로 변화되었다.

• 변태봉 | Byeon, Tae-Bong
• 김태욱 | 김태욱