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A Review of the Mechanisms Regarding Duplex Layer Formation During Various Manufacturing Processes KCI 등재 SCOPUS
다양한 제조 공정하에서의 이중층 형성 기구에 관한 고찰
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제8권 제2호 (1998.02)
pp.154-160
pp.154-160
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
다양한 제조 공정하에서 기판위에 형성되는 이중층은 공학적인 관점으로 볼 때 매우 중요한 미세 조직들 중의 하나이다. 이중에서도 고온 산화시에 형성되는 이중층에 관하여는 많은 이론들이 있다. 이 논문에서는 이들 이론들에 대한 가정 및 이론 전개에 대한 고찰을 통해 이들 이론들을 검증하였다. 또 산화 이중층을 진공 박막 제조 및 응고시 형성되는 이중층들과 비교하였다.
저자
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