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고상 에피택시에 의한 초박막 CoSi2 형성과 Si/epi-CoSi2/Si(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장 KCI 등재 SCOPUS

Formation of CoSi2 Film and Double Heteroepitaxial Growth of Si/epi-CoSi2/Si(111) by Solid Phase Epitaxy

최치규, 강민성, 문종, 현동걸, 김건호, 이정용
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295303
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제8권 제2호 (1998.02)
pp.165-172
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 최치규 | Choe, Chi-Gyu
  • 강민성 | 강민성
  • 문종 | 문종
  • 현동걸 | 현동걸
  • 김건호 | 김건호
  • 이정용 | 이정용
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