RF Magnetron Sputtering 으로 제작된 Co-based MnSbPt 합금박막의 자기광학적 성질

윤현묵; 홍연기; 이경재; 김종오

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RF Magnetron Sputtering 으로 제작된 Co-based MnSbPt 합금박막의 자기광학적 성질 KCI 등재 SCOPUS

Magneto-Optical Properties of Co-based MnSbPt Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

윤현묵, 홍연기, 이경재, 김종오

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295307

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제8권 제3호 (1998.03)
pp.195-199

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

R.F. Magnetron Sputtering 법으로 Co를 base로 MnSbPt 합금박막의 최적 열처리 조건은 300˚C-4시간 이었으나, 종래의 MnSbPt 합금박막의 경우와 같이 수직자화막은 얻을 수 없었다. 보자력은 Co의 두께가 250Å에서 최대를 나타냈으나 약 500 Oe이하로 실용적 측면에서 불충분 하였다. 진공중에서 300˚C 4시간 열처리한 합금박막의 경우, 700nm의 입사파장에서 약 0.78˚에 이르는 Kerr 회전각을 보이므로 고보자력을 지닌 수직자화막을 제조할 수 있다면 우수한 차세대 고밀도 자기 기록매체로서 유망하다.

저자

윤현묵 | Yun, Hyeon-Muk
홍연기 | 홍연기
이경재 | 이경재
김종오 | 김종오

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