RF-PECVD법에 의해 합성된 a-C : H 박막의 내부응력에 관한 연구 - koreascholar

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RF-PECVD법에 의해 합성된 a-C : H 박막의 내부응력에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

A Study on Internal Stress of a-C : H Thin Films Synthesized by RF-PECVD

손민규, 이상현, 김성녕, 이재성, 고명완

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295310

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제8권 제3호 (1998.03)
pp.214-218

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

손민규 | Son, Min-Gyu
이상현 | 이상현
김성녕 | 김성녕
이재성 | 이재성
고명완 | 고명완

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