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Co/Ti 이중막 실리사이드를 이용한 p+-n극저접합 다이오드의 제작과 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Fabrication and Electrical Characteristics of p+-n Ultra Shallow Junction Diode with Co/Ti Bilayer Silicide

장지근, 엄우용, 장호정
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295322
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제8권 제4호 (1998.04)
pp.288-292
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 장지근 | Chang, Gee-Keun
  • 엄우용 | 엄우용
  • 장호정 | 장호정
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