SiC4C3H 8H2와 C3H8 H2, CH3SiCI3CH4H2계를 사용하여 흑연기판 위에 SiC와 SiC/C FGM을 CVD법에 의해 코팅하였다. SiCI4C3H8 H2 계에서 SiC 증착 시 바람직한 수소의 비는 10-30사이였고 결정 배향성은 입력가스의 탄소비에 따라 여러번의 대 반전이 일어났다. 성장조건을 111 배향성을 갖도록 조절하는 것이 FGM층간 접착상태를 증진시킬 수 있는 방법으로 판단되었다. CH3SiCI3C3H8 H2 계에서는 SiC와 C의 비율을 조절하기가 SiCI4C3H8 H2계를 사용했을 때 보다 용이하였고, FGM 단면 관찰에서 층간의 뚜렷한 경계를 발견할 수 없을 정도로 우수한 층간 접착상태를 보였다.

• 김유택 | Kim, Yu-Taek
• 정순득 | 정순득
• 이성철 | 이성철
• 박진호 | 박진호