A Study of Crystalline Behaviour on As+ Ion-Implanted Silicon - koreascholar

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A Study of Crystalline Behaviour on As+ Ion-Implanted Silicon KCI 등재 SCOPUS

As 이온 주입된 Si의 결정성 거동에 관한 연구

Mun, Yeong-Hui, Song, Yeong-Min, Kim, Jong-O

언어ENG
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295478

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제9권 제1호 (1999.01)
pp.99-103

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

Mun, Yeong-Hui | 문영희
Song, Yeong-Min | 송영민
Kim, Jong-O | 김종오

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