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대면적화된 마이크로파 플라즈마를 이용하여 실리콘 웨이퍼에 증착한 다결정 실리콘의 특성 연구 KCI 등재 SCOPUS

Characteristics of Polysilicon Films Deposited on Silicon Wafers with Enlarged Microwave Plasma

류근걸
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295560
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제9권 제6호 (1999.06)
pp.604-608
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 류근걸 | Ryu, Geun-Geol
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