졸-겔 공정에 의해 Diol을 기반으로 제조된 PZT막 상전이에 대한 종자 영향

안병헌; 황진명

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졸-겔 공정에 의해 Diol을 기반으로 제조된 PZT막 상전이에 대한 종자 영향 KCI 등재 SCOPUS

Seeding Effects on Phase Transformation in Diol-Based Sol-Gel Derived PZT Film

안병헌, 황진명

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295647

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제9권 제12호 (1999.12)
pp.1181-1187

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

diol을 기반으로 하는 Sol-Gel 방법으로 PZT (53/47) 1M sol 용액을 만들어 회전 코팅법으로 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 코팅하였고 한번 코팅으로 최대 0.9μm 의 PZT막을 얻었다. PZT는 비강유전성 pyrochlore상을 거쳐 강유전성 perovskite상으로 전이하며 따라서 PZT perovskite seed가 상전이에 미치는 영향을 규명하고자 하였다. 0.2μm 이하의 크기를 갖는 1wt% PZT분말을 propanol용액에 분산시켜 PZT sol 용액에 도입하여 seeded PZT 막을 제조하였다. Seeded PZT막을 열처리한 결과 perovskite상의 생성이 촉진되어 상전이 온도가 50˚C정도 낮아졌다.

저자

안병헌 | An, Byung-Hun
황진명 | 황진명

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