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증착온도가 저유전 a-C:F 박막의 특성에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effect of Deposition Temperature on the Characteristics of Low Dielectric Fluorinated Amorphous Carbon Thin Films

박정원, 양성훈, 박종환
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295651
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제9권 제12호 (1999.12)
pp.1211-1215
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 박정원 | Park, Jeong-Won
  • 양성훈 | 양성훈
  • 박종환 | 박종환
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