Ni mono-silicide는 선폭이 0.15μm이하에서도 전기저항이 커지는 현상이 없고 Ni와 Si이 1:1로 반응하기 때문에 얇은 실리사이드의 제조가 가능하고 도펀트의 재분포 현상을 감소시킬수 있다. 따라서 0.15μm급 이하 디바이스에 사용이 기대되는 NiSi의 제조를 위한 Ni 박막의 증착조건 확보와 열처리 조건에 따른 NiSi의 기초 물성조사를 수행하였다. Ni mono-silicide는 sputter의 물리적 증착방법으로 Ni 박박을 증착후 관상로를 상용하여 150~1000˚C 온도 범위에서 제조하였다. 그후 SPM을 이용하여 각 시편의 표면조도를 측정하였고, 미세구조와 성분분석은 EDS가 장착된 TEM을 사용하여 측정하였다. 각 열처리 온도별 생성상의 전기적 성질은 4 point probe로 측정하였다. 본 연구의 결과, SPM은 비파괴 방법으로 NiSi가 NiSi2로 변태되었는지 확인할 수 있는 효과적인 공정모니터링 방법임을 확인하였고, 800˚C이상 공온 열처리에 잔류 Ni의 산화방지를 의해 산소분압의 제어가 Po2=1.5±10(sup)-11색 이하가 되어야 함을 알 수 있었으며, 전지적 특성실험으로부터 본 연구에서 제조된 박막의 NiSi→NiSi2 상태변온도는 700˚C라고 판단되었다.

• 안영숙 | An, Yeong-Suk
• 송오성 | 송오성
• 이진우 | 이진우