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(Fe0.6Co0.4)89Zr11/(Fe1-xCox)Zr11(x=0, 0.6, 0.9)비정질 다층박막의 자기특성 KCI 등재 SCOPUS
Magnetic Properties of (Fe0.6Co0.4)89Zr11/(Fe1-xCox)Zr11(x=0, 0.6, 0.9)Amorphous Multilayers
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제10권 제10호 (2000.10)
pp.709-714
pp.709-714
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
SAW 소자에 응용 가능한 자성박막재의 개발을 목적으로 RF 스퍼터링법으로 증착한 (Fe(sub)0.6Co(sub)0.4)(sub)89Zr(sub)11/Fe(sub)1-xCo(sub)x)Zr(sub)11(x=0, 0.6, 0.9)<원문잠조> 비정질 다층박막의 자기특성을 조사하였다. 수직자기장중열처리를 행하였을 때 상온에서 비자성 Fe(sub)89Zr(sub)11 층의 삽입에서만 다층박막화의 효과가 나타났다. 일 예로 (Fe(sub)0.6Co(sub)0.4)(sub)89Zr(sub)11(30Å)/Fe(sub)89-Zr(sub)11(40Å)<원문참조> 박막시편에 1kHz, 50 mOe의 여기자기장으로 평가된 최대 미분투자율μ(sub)d.max는 단층막의 750에서 1650으로 2배 이상 증가, 구동 바이어스자기장 Hw는 20 Oe에서 6Oe로 3배 이하로 감소하는 양호한 특성이 얻어졌다. 그러나 다른 중용 특성인 자왜는 34% 정도 감소하는 것으로 추정되었다.
저자
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