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절연층인 CeO2박막의 제조 및 Pt/SrBi2Ta2O9/CeO24/Si MFISFET 구조의 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Preparation of CeO2 Thin Films as an Insulation Layer and Electrical Properties of Pt/SrBi2Ta2O9/CeO24/Si MFISFET

박상식
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295778
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제10권 제12호 (2000.12)
pp.807-811
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
MFISFETMetal-ferroelectric-insulator-semiconductor-field effect transistorFerroelectricPLDPulsed Laser DepositionSputtering
저자
  • 박상식 | Park, Sang-Sik
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