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니켈실리사이드 제조온도에 따른 측벽물질과의 반응안정성 연구 KCI 등재 SCOPUS

A Study on Reaction Stability Between Nickel and Side-wall Materials With Silicidation Temperature

안영숙, 송오성
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295797
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제11권 제2호 (2001.02)
pp.71-75
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
nickel silicideside-wall materialreactionAuger depth profilingSi3N4SiO2
저자
  • 안영숙 | An, Yeong-Suk
  • 송오성 | 송오성
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