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Pt 또는 Ir 계열의 상부전극을 갖는 (Pb, La) (Zr, Ti)O3 (PLZT) 박막의 누설전류특성에 미치는 수소 열처리의 효과 KCI 등재 SCOPUS
Effect of Hydrogen on leakage current characteristics of (Pb, La) (Zr, Ti )O3(PLZT) thin film capacitors with Pt or Ir-based top electrodes
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제11권 제2호 (2001.02)
pp.151-154
pp.151-154
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
상부전극, Pt, Ir, 그리고 IrO2, 에 따라 수소 열처리전과 후, 그리고 회복열처리시 누설전류특성을 고찰하였다. Pt/PLZT/Pt 케페시터는 수소열처리 후에 다시 회복열처리를 수행하면 완전히 이력곡선의 회복을 보이며 또한 피로특성도 거의 회복 된다. Pt과 IrO2 상부전극의 경우의 진 누설전류 특성은 열처리조건에 관계없이 강한 시간 의존성을 갖는 space-charge influenced injection모델에 적합하다. 반면에 Ir 상부전극의 경우는 Ir과 PLZT 사이의 계면에 헝성된 전도성 상인 IrO2로 인해 높은 누설전류 밀도를 보이면서 relaxation current 영역이 없이 steady state 영역을 보이는, 주로 Schottky barrier 모델에 의해 설명된다.
저자
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