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HfN/Si3N4와 NbN/Si3N4다층박막의 기계적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Mechanical Properties of HfN/Si3N4and NbN/Si3N4Multilayer Coatings

정진중, 황선근, 이종무
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295822
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제11권 제3호 (2001.03)
pp.236-242
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
초록

고속도 공구강 기판에 반응성 스퍼터링법으로 증착된 HfN/Si3N4와 NbN/Si3N4다층박막의 기계적인 성질들을 막 증착 조건에 따라 평가하였다. HfN/Si3N4와 NbN/Si3N4 다층박막의 강도는 N2/Ar비가 0.4일 때가지 증가하다가 유량비가 증가함에 따라 더 이상 증가하지 않았다. 두 다층박막의 강도는 낮은 온도에서의 열처리에 의해서는 거의 변화가 업지만 800˚C 정도의 고온에서는 열처리에 의한 산화로 인하여 감소하였다. 낮은 온도에서의 열처리는 밀착성을 향상시키는 반면 고온에서의 열처리는 강도의 감소 이외에 밀착성이 감소하므로 바람직하지 못하다.

키워드
HfN/Si3N4NbN/Si3N4multiplayer coatingshigh speed tool steelhardnessadhesion
저자
  • 정진중 | Jeong, Jin-Jung
  • 황선근 | 황선근
  • 이종무 | 이종무
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