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한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제11권 제4호 (2001.04)
pp.324-328
pp.324-328
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
아크이온 플레이팅 장치를 이용하여 STD61강 기판 위에 이온질화 전처리를 행하거나 하지 않은 후, CrN 박막을 증착하고, 대기중 700~900˚C의 온도에서 40시간동안 이들에 대한 산화거동을 연구하였다. 산화거동은 열중량분석기, X선회절기, EDS, SEM을 이용하여 조사하였다. 증착된 CrN박막은 CrN과 Cr2N의 두 상으로 구성되어 있었다. CrN박막은 보호적 Cr2O3층을 형성하여 기판을 산화로부터 보호하였다. 이온질화처리는 CrN박막의 내산화성에 영향을 주지 않았다.
저자
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