2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O3압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구

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The Electrical Properties and Residual Stress of Pb(Zr,Ti)O3 Piezoelectric Thin Films fabricated by 2- Step Deposition Method

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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PZT sputtering RuO2 residual stress

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