니켈 폴리사이드 게이트의 열적안정성과 C-V 특성 - koreascholar

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니켈 폴리사이드 게이트의 열적안정성과 C-V 특성 KCI 등재 SCOPUS

Thermal Stability and C- V Characteristics of Ni- Polycide Gates

정연실, 배규식

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295906

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제11권 제9호 (2001.09)
pp.776-780

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

NiSi Ni/Ti bilayer silicide as dopant source SADS polycide gate capacitor thermal stability C-V characteristics

저자

정연실 | Jeong, Yeon-Sil
배규식 | 배규식

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