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니켈 폴리사이드 게이트의 열적안정성과 C-V 특성 KCI 등재 SCOPUS
Thermal Stability and C- V Characteristics of Ni- Polycide Gates
정연실, 배규식
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295906
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제11권 제9호 (2001.09)
pp.776-780
pp.776-780
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
키워드
NiSiNi/Ti bilayersilicide as dopant sourceSADSpolycide gatecapacitorthermal stabilityC-V characteristics
저자
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