쵸크랄스키 Silicon 단결정의 Large Pit과 Flow Pattern defect의 열적 거동과 Large Pit의 소자 수율에의 영향

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Thermal Behavior of Flow Pattern Defect and Large Pit in Czochralski Silicon Crystals and Effects of Large Pit upon Device Yield

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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