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레이저 미세가공 기술을 이용한 초소형 전자빔 장치용 정전장 전자렌즈의 제작 KCI 등재 SCOPUS
Fabrication of Electrostatic Electron Lens for Electron Beam Microcolumn using the Laser Micromachining
안승준, 김대욱, 김호섭, 김영정, 이용산
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295909
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제11권 제9호 (2001.09)
pp.792-796
pp.792-796
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
키워드
microcolumnelectron lenslaser micromachiningactive Q-switched Nd:YAG laserelectron beam lithography
저자
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