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ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화 KCI 등재 SCOPUS

Effect of plasma oxidation time on TMR devices prepared by a ICP sputter

이영민, 송오성
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295924
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제11권 제10호 (2001.10)
pp.900-906
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
MRAMTMRspin-dependentmagnetoresistance
저자
  • 이영민 | Lee, Yeong-Min
  • 송오성 | 송오성
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