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액체 운반 유기 금속 화학 기상 증착법에 의한 (Ba,Sr)RuO3 하부전극의 특성 KCI 등재 SCOPUS

Characteristics of (Ba,Sr)RuO3Bottom Electrodes by Liquid Delivery Metalorganic Chemical Vapor Deposition

최은석, 윤순길
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295939
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제11권 제11호 (2001.11)
pp.997-1000
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
BSRDMOCVDdeposition temperatureroughnessresistivity
저자
  • 최은석 | Choe, Eun-Seok
  • 윤순길 | 윤순길
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