HFCVD법에 의한 CH3OH/H2O 혼합기체의 다이아몬드 박막성장에 관한 연구 - koreascholar

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HFCVD법에 의한 CH3OH/H2O 혼합기체의 다이아몬드 박막성장에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

Diamond Film Growth by Vapor Activation Method Using CH3OH/H2O Gas

이권재, 고재귀

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295942

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제11권 제12호 (2001.12)
pp.1014-1019

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

HFCVD method diamond film SEM Raman spectroscopy

저자

이권재 | Lee, Gwon-Jae
고재귀 | 고재귀

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