전기로를 이용한 Si || SiO2/Si3N4 || Si 이종기판쌍의 직접접합 - koreascholar

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전기로를 이용한 Si || SiO2/Si3N4 || Si 이종기판쌍의 직접접합 KCI 등재 SCOPUS

Direct Bonding of Si || SiO2/Si3N4 || Si Wafer Pairs With a Furnace

이상현, 이상돈, 서태윤, 송오성

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295973

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제2호 (2002.02)
pp.117-120

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

직접접합 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 기판쌍 전기로

저자

이상현 | Lee, Sang-Hyeon
이상돈 | 이상돈
서태윤 | 서태윤
송오성 | 송오성

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