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2단계 AlOx 절연층 공정에서 하부절연층의 산화시간에 따른 터널자기저항 특성연구 KCI 등재 SCOPUS

Tunnel Magnetoresistance with Plasma Oxidation Time in Double Oxidized Barrier Process

이영민, 송오성
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295986
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제12권 제3호 (2002.03)
pp.200-204
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
TMRPlasma oxidation timeDouble oxidized Barriertunnel BarrierAlO
저자
  • 이영민 | Lee, Young-Min
  • 송오성 | 송오성
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