Mesh-type PECVD를 이용한 DC-bias인가 및 수소가스 첨가에 따른 저수소화 비정질 실리콘 박막에 관한 연구

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The Properties of Low Hydrogen Content α-Si Thin Film Using DC-bias Enhanced or Addition of H2Gas in Mesh-type PECVD System

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

PECVD DC-bias Low-Hydrogen Desorption

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