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RF Magnetron Sputtering 방법으로 제조한 In2O3 박막의 미세구조와 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Microstructure and Electrical Properties of In2O3 Thin Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering

전용수, 윤여춘, 김성수
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296002
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제12권 제4호 (2002.04)
pp.290-295
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
microstructureelectrical propertyindium oxidethin filmsstructure zone model
저자
  • 전용수 | Jeon, Yong-Su
  • 윤여춘 | 윤여춘
  • 김성수 | 김성수
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