RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO2 박막의 구조 및 광학적 특성 - koreascholar

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RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO2 박막의 구조 및 광학적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Structural and Optical Properties of TiO2 Thin Films Prepared by RF Reactive Magnetron Sputtering

강계원, 이영훈, 곽재천, 이동구, 정봉교, 박성호, 최병호

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296027

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제6호 (2002.06)
pp.452-457

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

titanium oxide rf reactive magnetron sputtering

저자

강계원 | Gang, Gye-Won
이영훈 | 이영훈
곽재천 | 곽재천
이동구 | 이동구
정봉교 | 정봉교
박성호 | 박성호
최병호 | 최병호

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