메모리 소자에의 응용을 위한 SrBi2Nb2O9 박막의 성장 및 전기적 특성 - koreascholar

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메모리 소자에의 응용을 위한 SrBi2Nb2O9 박막의 성장 및 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Growth and Characteristics of SrBi2Nb2O9 Thin Films for Memory Devices

강동훈, 최훈상, 이종한, 임근식, 장유민, 최인훈

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296029

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제6호 (2002.06)
pp.464-469

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

SBN rf magnetron sputtering NDRO-FRAM remnant polarization RTA memory window

저자

강동훈 | Gang, Dong-Hun
최훈상 | 최훈상
이종한 | 이종한
임근식 | 임근식
장유민 | 장유민
최인훈 | 최인훈

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