In-line 마그네트론 스퍼터 장치를 사용하여 산소 분위기에서 제작한 Ag 박막의 특성 - koreascholar

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In-line 마그네트론 스퍼터 장치를 사용하여 산소 분위기에서 제작한 Ag 박막의 특성 KCI 등재 SCOPUS

Properties of Ag Thin Films Deposited in Oxygen Atmosphere Using in- line Magnetron Sputter System

구대영, 김원목, 조상무, 황만수, 이인규, 정병기, 이택성, 이경석, 조성훈

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296060

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제8호 (2002.08)
pp.661-668

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Transparent conducting films Ag films Specific resistivity Oxygen In-line sputter

저자

구대영 | Ku, Dae-Young
김원목 | 김원목
조상무 | 조상무
황만수 | 황만수
이인규 | 이인규
정병기 | 정병기
이택성 | 이택성
이경석 | 이경석
조성훈 | 조성훈

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