TiAIN 박막의 우선방위와 내산화성 - koreascholar

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TiAIN 박막의 우선방위와 내산화성 KCI 등재 SCOPUS

Oxidation Resistance and Preferred Orientation of TiAIN Thin Films

백창현, 박용권, 위명용

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제8호 (2002.08)
pp.676-681

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Ti0 1Al0 4N0 5 oxidation layer high Al content protective layer

저자

백창현 | Park, Yong-Gwon
박용권 | 박용권
위명용 | 위명용

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