Ta2O5 고유전박막의 미세조직과 열적안정성 - koreascholar

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Ta2O5 고유전박막의 미세조직과 열적안정성 KCI 등재 SCOPUS

Microstructure and Thermal Stability of High Permittivity Ta2O5

민석홍, 정병길, 최재호, 김병성, 김대용, 신동우, 조성래, 김기범

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296084

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제10호 (2002.10)
pp.814-819

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Ta2O5 TiN TaN thermal stability

저자

민석홍 | Min, Seok-Hong
정병길 | 정병길
최재호 | 최재호
김병성 | 김병성
김대용 | 김대용
신동우 | 신동우
조성래 | 조성래
김기범 | 김기범

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