티타늄과 코발트 박막의 산화규소 스페이서에 대한 열적안정성 - koreascholar

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티타늄과 코발트 박막의 산화규소 스페이서에 대한 열적안정성 KCI 등재 SCOPUS

Thermal Stability of Titanium and Cobalt Thin Films on Silicon Oxide Spacer

정성희, 송오성, 김민성

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296093

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제11호 (2002.11)
pp.865-869

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

cobalt titanium Co/Ti bilayers salicide thermal stability spacers

저자

정성희 | Cheong, Seong-Hwee
송오성 | 송오성
김민성 | 김민성

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