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CH3OH/H2O 가스의 기상활성법을 이용한 다이아몬드 박막성장 과정에서의 OES분석 KCI 등재 SCOPUS

OES Analysis for Diamond Film Growth by Vapor Activation Method Using CH3OH/H2O Gas

이권재, 고재귀, 신재수
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296115
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제13권 제1호 (2003.01)
pp.31-35
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
HFCVD methoddiamond filmOESHαHβHγ
저자
  • 이권재 | Lee, Kwon-Jai
  • 고재귀 | 고재귀
  • 신재수 | 신재수
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