소오스/드레인 영역의 도펀트 양의 증가에 따른 코발트실리사이드의 물성변화 - koreascholar

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소오스/드레인 영역의 도펀트 양의 증가에 따른 코발트실리사이드의 물성변화 KCI 등재 SCOPUS

Influence of Dose on the Property of Cobalt Silicides in Source/Drain Area

정성희, 송오성, 김민성

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296117

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제13권 제1호 (2003.01)
pp.43-47

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

cobalt disilicide Ti interlayer sheet resistance dopants distribution dose spike ion implantation

저자

정성희 | Cheong, Seong-Hwee
송오성 | 송오성
김민성 | 김민성

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