Ferroelectric 캐패시터의 하부전극에의 응용을 위한 IrO2 박막 증착 및 특성분석

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Growth and Characteristics of IrO2 Thin Films for Application as Bottom Electrodes of Ferroelectric Capacitors

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

IrO2: SBT MOD RF-magnetron sputtering

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